三氟甲烷 (CHF3)
項目名稱 | 純度指標(biāo)(%) | ||
三氟甲烷 | ≥99.999 | ≥99.9 | |
雜質(zhì)含量(ppm)
| 水(H2O) | ≤3 | ≤10 |
氧氣(O2) | ≤2 | - | |
氮氣(N2) | ≤5 | - | |
二氧化碳(H2SiF6) | ≤3 | ≤100 | |
酸度(Acidity) | ≤0.1 | ≤1 |
包裝:采用40L、47L鋼瓶充裝,也可根據(jù)客戶需要分裝到8L的氣瓶中。
用途:用作電子工業(yè)等離子體化學(xué)蝕刻劑、低溫(-100℃)制冷劑及氟有機化合物的原料。
理化性質(zhì): 是一種無色、微味,不導(dǎo)電的低毒類氣體,是理想的鹵代烷替代物。高濃度三氟甲烷具有窒息麻醉作用,對腦神經(jīng)有損害。液體接觸時可能引起凍傷。
注意事項:儲存于陰涼、通風(fēng)的不燃氣體專用庫房。遠離火種、熱源。庫溫不宜超過30℃。應(yīng)與氧化劑、易(可)燃物分開存放,切忌混儲。儲區(qū)應(yīng)備有泄漏應(yīng)急處理設(shè)備。